API激光干涉仪产品参数

API激光干涉仪产品参数

API激光干涉仪XD Laser的技术参数：

1．1D激光主要可以测量定位误差

2．3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）

3．5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角 

4．5D/6D标准型技术参数：

1) 线性：0.5ppm .

2) 测量范围：40米（1D可选80米）

3) 线性分辨力：0.001um.

4) 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

5) 范围：800角秒

6) 滚动角精度：1.0角秒

7) 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

8) 直线度范围：500um

9) 垂直度精度：1角秒

10) 温度精度：0.2摄氏度

11) 湿度精度：5%

12) 压力精度：1mmHg