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API代理激光干涉仪产品信息

更新时间:2022-09-06   点击次数:581次

API代理激光干涉仪产品信息

API激光干涉仪XD LASER技术参数:

5D/6D标准型:

1. 线性:0.5ppm .

2. 测量范围:40米(1D可选80米)

3. 线性分辨力:0.001um.

4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值

5. 最大范围:800角秒

6. 滚动角精度:1.0角秒

7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值

8. 直线度最大范围:500um

9. 垂直度精度:1角秒

10. 温度精度:0.2摄氏度

11.湿度精度:5%

12.压力精度:1mmHg

API激光干涉仪XD LASER主要特点:

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角

2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。

5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架

6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间