激光干涉仪API进口美国测量仪

激光干涉仪API

以 API XD Laser 6D 激光干涉仪为例，从稳频激光器发出的激光光束经过干涉后，被 6D 传感器内的分光镜分成三束。一束光经锥角反射棱镜反射后返回干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，可记录精确长度位置；第二束光作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得；第三束光用作装在 6D 传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。

要用于机床检测、校准等领域，可对机床的定位精度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数进行高精度测量和评估，