美国API 的XD Laser激光干涉仪是一款高性能的测量设备,主要用于机床及其他精密机械的校准和性能评估。以下是关于这款设备的主要特点:
多功能测量:XD Laser能够同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。
安装便捷:该传感器设计用于安装在机床主轴上,提供5D或6D的测量能力。
无线控制:可选配无线遥控传感器,控制距离可达25米。
动态特性评估:除了静态精度测量外,还能测量速度、加速度、振动等参数,以评估机床的动态特性。
紧凑设计:由于其设计紧凑,体积小巧,在进行机床测量时不需要使用三脚架。
集成技术:将干涉镜与激光器集成为一体,简化了调整步骤并减少了调整时间。
PSD技术应用:采用光电位置敏感检测器(PSD)技术,可以将光敏面上的光点位置转化为电信号,支持直线度1:1的测量,并且即使出现断光情况也能继续工作,适用于导轨的安装调试。
垂直度测量:利用PSD技术实现1:1的直线度测量,使得两轴垂直度的测量只需要一个五角棱镜即可完成,无需其他镜组,极大地简化了安装和调校过程。
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