API激光干涉仪原理信息

XD Laser的核心技术基于激光干涉测量原理，采用稳定的单频氦氖激光源，可实现纳米级的测量分辨率。其显著特点是集成了六维空间误差同步测量能力，即在一次装机过程中，即可同时测量线性位移、两个方向的俯仰与偏摆角度、垂直度、直线度（水平与垂直）以及滚转角，全面评估设备在三维空间内的几何精度。这极大地提高了检测效率，减少了传统多设备、多步骤测量带来的累积误差和时间成本。

该系统采用模块化设计，主要由激光发射单元、高灵敏度探测器、环境传感器（实时补偿温度、气压、湿度对光速的影响）、六维反射镜组件及专业分析软件构成。其无线通信技术简化了现场布线，增强了操作灵活性。配套软件界面直观，能自动生成符合ISO等国际标准的详细分析报告，为设备的精度诊断、优化调整和预防性维护提供科学依据