美国激光干涉仪API XD LASER信息

美国API 激光干涉仪 XD LASER核心型号与测量参数

XD Laser 系列按测量维度分为 4 种主流配置：

XD1 (1D)：线性定位误差、重复定位

XD3 (3D)：1D 参数 + XX/YY 双向直线度

XD5 (5D)：3D 参数 + 俯仰角、偏摆角

XD6 (6D)：5D 参数 + 滚动角（完整六自由度）

关键技术参数

激光源：稳频氦氖（He-Ne），波长稳定性 ±0.05 ppm

线性精度：±0.5 ppm（每米误差是 0.5 微米）

线性分辨率：0.001 μm（1 纳米）

角度精度：

俯仰 / 偏摆：(1.0 + 0.1/m) 角秒

滚动角：1.0 角秒

测量范围：标准 40 m（1D 可选 80 m）

数据采集：50 kHz（支持动态 / 高速测量）

重量与尺寸：激光头 3.8 kg，体积 230×108×102 mm