菲希尔X射线测厚仪应用实例
PCB领域的一个典型镀层结构是Au/Pd/Ni/Cu/
PCB和而且测量点的宽度通常都小于100 μm,Au层和Pd层的厚度都在10到100 nm之间。使用半宽高为20μm的XDV-μ进行测量,Au层和Pd层的重复精度分别可达到~0.1 nm和~0.5 nm。
菲希尔镀层测厚仪特征
带有铍窗口和钨钯的微聚焦X射线管,可选钼管。最高工作条件:50kV,50W
X射线探测器采用珀尔帖致冷的硅漂移探测器
多毛细孔X射线聚焦装置,测量点约20-40 μm FWHM(半高宽)
4个可切换基本滤片
带弹出功能的可编程XY平台
视频摄像头可用来实时查看测量位置,十字线上有经过校准的刻度标尺,而测量点
实际大小也在图像中显示。
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