XULM 240费希尔X射线荧光测厚仪信息

适配不同行业的检测场景，XULM 240采用高度模块化的硬件架构，其核心检测单元搭载与高型号同源的硅漂移探测器（SDD），能量分辨率可达 125eV（针对 Mn Kα 线），能精准区分相邻元素的特征 X 射线信号，为镀层成分分析提供可靠数据支撑。

在测量附件方面，仪器提供全系列准直器选择（从 φ0.1mm 到 φ5mm），其中 φ0.1mm 的微准直器可聚焦 X 射线束至发丝粗细，专门用于测量半导体芯片的金线镀层、精密传感器的电极镀层等微型结构；滤波器模块则包含 Al、Cu、Ti 等多种材质，可根据镀层类型（如厚镀层选高吸收滤波器，薄镀层选低吸收滤波器）灵活切换，减少背景干扰。X 射线管支持 50kV/1mA 的功率输出，可选配微聚焦 X 射线管（焦点尺寸≤50µm），配合特殊设计的测角仪，甚至能对直径仅 100µm 的微型孔内壁镀层进行非接触式测量，突破了传统仪器对微小结构的检测限制。

此外，仪器还预留了扩展接口，可根据需求加装自动进样器、温湿度控制模块或氮气保护装置，进一步拓展在高温高湿环境、易氧化样品等特殊场景中的应用能力，真正实现 “一台设备覆盖全生产链检测需求"。