API激光干涉仪XD LASER产品信息

API激光干涉仪XD LASER核心特性

1. 多维度测量能力

6D 型号：一次安装同时测量 6 个参数：

线性定位误差 (1 个位置度)

两个方向直线度 (XX 和 YY 方向)

偏摆角和俯仰角 (两个角度)

滚动角 (1 个角度)

API激光干涉仪XD LASER型号对比：

型号测量参数

1D定位误差、重复定位精度、反向间隙、速度、加速度

3D1D 参数 + XX 和 YY 方向直线度

5D3D 参数 + 偏摆角、俯仰角

6D5D 参数 + 滚动角

2. 精度

线性精度：0.5ppm (每米 0.5 微米)

测量范围：标准 40 米 (1D 可选 80 米)

线性分辨力：0.001μm (纳米级)

角度精度：

偏摆 / 俯仰：(1.0+0.1/m) 角秒或 1% 显示值

滚动角：1.0 角秒

垂直度：±1 角秒

3. 创新设计

紧凑集成：主机集成干涉镜，无需单独架设，总重仅 4.2kg

两点式对光：摒弃传统三脚架，简化安装流程

内置无线通信：增强连接稳定性，减少线缆干扰