菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237信息

菲希尔X射线测厚仪FISCHER XDLM237与同系列的其他型号相比，XDLM237 的核心优势在于其全自动马达驱动 X/Y 工作台。当保护门开启时，工作台会自动移到装卸位置，配合可编程的 Z 轴，非常适合大规模生产零部件的全自动批量检测，能显著提升效率。

关键性能参数

测量原理：从上往下测量（Top-down），便于分析非平面样品。

元素范围：通常为氯（17）到铀（92），部分资料提及铝（13）起，最多可同时测定 24 种元素。

测量范围：常规 0.001 μm 至 50 μm（部分配置可达 100 μm）。

最小光斑：最小准直器可达 0.05 × 0.05 mm（或约 0.1 mm），满足微小结构测量。

样品台：马达驱动可编程 X/Y 平台，行程 255 × 235 mm；Z 轴行程 140 mm；样品最大高度 140 mm，承重 5 kg（降精度可达 20 kg）。

探测器与软件：采用比例接收器，搭配 WinFTM® 软件，支持基本参数法（FP），无需标样即可分析多层镀层。